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精密东莞位移台相关知识分析

来源:http://dg.dinuohua.com/news763371.html 发布日期: 2022-02-12 03:00:00

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精密东莞位移台相关知识分析:

①空回Backlash

空回是指不至引起反向可测量输出的最大输入量。轴向预紧不够或传动链元件的啮合不好会导致空回,例如啮合齿轮上的齿不好。空回是相对稳定的,并且可以用好的控制器补偿。

②误差 Error

误差是指实测的品质参数和理想的/需要的结果之间的差值。误差主要有两个方面:轴向误差,如精度,与沿着运动方向的参数有关;非轴向误差,如倾斜,与约束的自由度方向相关。

③偏心和摆动 Eccentricity and Wobble

偏心有时也称同心度,旋台的偏心是指当旋台旋转时它的旋转中心与平均位置的偏差。如果一个旋台是绝对同心的,那么在旋转时就没有偏心。对于旋台,摆动是旋转轴的角度偏差。

④跳动Runout

跳动是指非轴向线性误差。这是位移台的理想直线运动和实测直线运动之间的偏差。跳动有两个正交分量:表征水平方向偏差的直线度和表征垂直方向偏差的平面度。

⑤倾斜和晃动 Tilt and Wobble

倾斜和晃动是指非轴向角度误差。它是指理想的运动直线和实测的运动台之间的偏移量。倾斜和晃动有三个相互垂直的分量,一般指的是转动、俯仰和偏摆。这三个分量决定了由几何形状引起的所有运动系统误差。

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⑥速度Velocity (Speed)

速度是指单位时间内位移的改变量。最大速度是指位移台正常负载情况下的最大速度。负载越轻速度越快。最小稳定速度主要依赖于运动系统驱动设备的速度稳定性。

⑦速度稳定性Speed Stability

速度稳定性是指保持恒定速度的能力,也用速度调节能力表征。这个参数取决于平台的机械设计、反馈机制、所用的控制算法和速度的大小。

⑧加速度Acceleration

加速度是指单位时间内速度的变化量。

⑨惯量Inertia

惯量是负载抵抗速度改变的一个量度。惯量性越大,负载加速或减速时需要的转矩也越大。惯量是一个负载大小和形状的函数。如果能对转矩做出限制,那么允许加速和减速的次数就会增加。

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