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为什么在测量过程中手动位移平台的精度会产生误差：

因为要求手动位移平台具有高速度，高精度和大行程，并且高速大行程不可避免地给手动位移平台带来更大的惯性，所以难以实现高定位精度。步进电机与轴连接。关节驱动丝杠旋转，因此丝杠的返回误差是影响定位速度的主要因素。

手动位移平台的精度主要受测量光栅分辨率的影响。来自光栅千分尺传感器的信号被放大和细化。细分后，分辨率达到约1μm。当然，可以增加细分，但会影响工作台的定位速度。考虑到工作台的定位精度，工作台的定位精度达到1μm。

经过实验后，以及图6的误差曲线。这两个实验都是针对螺钉每前进1mm测得的误差值。无光栅反馈的误差曲线，误差范围为（-28.22?16.64）μm，平均误差为-5.82μm。加上光栅反馈信号后的误差曲线，误差范围为（-0.5?0.59）lm，平均误差为-0.06μm。显然，手动位移平台的定位精度已大大提高。

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